設(shè)計特點：
A. 無鐵芯直線電機直驅(qū)
B. 高精度以及精準回零
C. 懸臂式結(jié)構(gòu)
懸臂式DGL XY平臺，采用雅科貝思標準模組DGL組成。具有良好的剛性性能，以及良好的定位精度。
模組匹配
| 模組 | 運動軸 | 電機型號 | 有效行程（mm） | 運動總質(zhì)量（Kg） | 總質(zhì)量（Kg） | 傳感器限位（mm） | 硬限位（mm） |
DGL180 | 上軸 | AUM3-S2 | 200-300 | 查看PDF | 查看PDF | 行程+4 | 行程+20 |
| AUM3-S3 | |||||||
| AUM3-S4 | |||||||
DGL200 | 下軸 | AUM4-S2 | 200-600 | A | B | 行程+4 | 行程+20 |
| AUM4-S3 | |||||||
| AUM4-S4 |
ZYZ直線模組拾取和放置
性能參數(shù)
| 規(guī)格參數(shù) | 單位 | DGL180 | DGL200 |
| 1直線度 | μm | ±3μm/25mm | ±3μm/25mm |
| NTE±10μm/300mm | NTE±10μm/300mm | ||
| 1平面度 | ±3μm/25mm | ±3μm/25mm | |
| NTE±10μm/300mm | NTE±10μm/300mm | ||
| 重復精度（1μm分辨率） | ±3μm（40μm光柵柵距） | ±3μm（40μm光柵柵距） | |
| 重復精度（0.5μm分辨率） | ±1.5μm（20μm光柵柵距） | ±1.5μm（20μm光柵柵距） | |
| 重復精度（0.1μm分辨率） | ±1μm（20μm光柵柵距） | ±1μm（20μm光柵柵距） | |
| 重復精度（模擬量） | ±5 counts | ±5 counts | |
| X-Y正交性 | Arc-sec | 10 | 10 |
注：所有的測量數(shù)據(jù)基于模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。
1 電機線長度是在下軸滑架安裝之后測量所得
